氧化鋯陶瓷材料優(yōu)良機械性能使其在微機電系統(tǒng)中有廣闊的應用前景。采用微細切削加工方法在陶瓷生胚上加三維結構，即可提高加工效率，又可以降低成本．是很有前景的加工方法。

　　在氧化鋯陶瓷生胚上微細結構加工邊中尺寸精度的控制問題。氧化鋯陶瓷生坯通過壓力使粉末成型并具備一定強度，用三點抗彎實驗測定了不同壓制壓力下的坯抗抗彎強度，得到了抗彎強度與壓制壓力的關系隨著壓制壓力的增加，坯體的強度也在增加，并且基本呈線性變化。

　　通過比較微結判斷氧化鋯陶瓷加工質量的好壞結果表明氧化鋯陶瓷坯體強度越大，氧化鋯陶瓷加工質量越好。氧化鋯陶瓷生胚在燒結后會出現(xiàn)一定的體積收縮，壓力下壓制的生胚收縮率變化。同一壓力下．氧化鋯陶瓷胚體x向和Y向收縮率一致，井且不同高度處的xY向收縮率無明顯差異。隨著壓力的增加，x、Y、z向收縮率逐漸減少，z向收縮率對壓力更敏感。

　　氧化鋯陶瓷為得到尺寸正確的微細結構，究影響尺寸精度的因素，重點在z自R寸的控制。加工系統(tǒng)軸向變形量，得到了一定加工參數(shù)下軸向加工力的變化規(guī)律和系統(tǒng)的剛度，確定了系統(tǒng)的軸向變型量。

　　加工刀具磨損規(guī)律

　　刀具在初期磨損階段和正常磨損階段的相對體積損耗率，并推出了計算刀具軸向損耗量的經(jīng)驗公式。最后對系統(tǒng)軸自變形量、刀具磨損量、收縮事進行補償，在生胚上加工微小型腔，結果表明加工及燒成尺寸與目標尺寸基本致，生胚工后z向最大絕對偏差l.4mm，致密化燒結后，z向最大絕對偏差3.8mm表明所采用的補償方法可以有效控制z向尺寸。